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傳感器技術(shù)前沿探索:壓力、慣性、磁與麥克風(fēng)的最新進(jìn)展
2024-08-15

在當(dāng)今高度信息化的社會中,傳感器作為連接物理世界與數(shù)字世界的橋梁,扮演著至關(guān)重要的角色。它們不僅在工業(yè)自動化、汽車制造、消費(fèi)電子等領(lǐng)域發(fā)揮著核心作用,還在醫(yī)療健康、航空航天等高端應(yīng)用中展現(xiàn)出不可或缺的價值。接下來,道合順傳感將介紹幾種關(guān)鍵類型的傳感器——壓力傳感器、慣性傳感器、磁傳感器以及麥克風(fēng),分析它們的工作原理、技術(shù)發(fā)展趨勢以及在全球市場中的應(yīng)用現(xiàn)狀。 

1、壓力傳感器

根據(jù)工藝和工作原理不同分為MEMS 壓力傳感器、陶瓷壓力傳感器、濺射薄膜壓力傳感器、微熔壓力傳感器、傳統(tǒng)應(yīng)變片壓力傳感器、藍(lán)寶石壓力傳感器、壓電壓力傳感器、光纖壓力傳感器和諧振壓力傳感器。

1)MEMS 技術(shù)

MEMS 壓力傳感器量程一般在 1kPa~100MPa 之間,具有小型化、可量產(chǎn)、易集成等優(yōu)點,市場需求量最大、應(yīng)用領(lǐng)域最廣,是智能壓力傳感器的重要載體。

MEMS 壓力傳感器技術(shù)現(xiàn)在已較為成熟,基本可以分為壓阻式和電容式兩類,據(jù)推斷該領(lǐng)域不會出現(xiàn)較大的技術(shù)突破,主要是漸進(jìn)式的技術(shù)改進(jìn),像所有半導(dǎo)體產(chǎn)品一樣,微型化是重要發(fā)展方向。

典型應(yīng)用主要包括汽車電子,如汽車發(fā)動機(jī)系統(tǒng)、制動系統(tǒng)、燃油系統(tǒng)和后處理系統(tǒng)等,智能手機(jī)、無人機(jī)、可穿戴設(shè)備的高度計(氣壓計),石油、電力、軌道交通工業(yè)過程控制和狀態(tài)監(jiān)測壓力傳感器,航空航天氣流壓力檢測等。

根據(jù) Yole 的數(shù)據(jù),2018-2026 年全球 MEMS 壓力傳感器市場規(guī)模從 18.60 億美元增 長至 23.62 億美元,年均復(fù)合增長率為 3.03%;出貨量從 14.85 億顆增長至 21.83 億顆, 年均復(fù)合增長率為 4.93%。

2018-2026 年全球 MEMS 壓力傳感器市場規(guī)模.png

▲圖表來自歌爾微招股書

汽車電子是 MEMS 壓力傳感器最大的應(yīng)用市場,據(jù)估計國內(nèi)每年需求量達(dá)到數(shù)億只,其中動力傳動系統(tǒng)應(yīng)用占壓力傳感器總量的 50%以上,安全系統(tǒng)、胎壓監(jiān)測系統(tǒng)等也用到較多的壓力傳感器。當(dāng)前在節(jié)能減排和自動駕駛的需求驅(qū)動下,壓力傳感器在汽車的燃油蒸發(fā)排放系統(tǒng)、柴油顆粒過濾器等用量激增,這一市場需求在中國尤其強(qiáng)烈。

由于智能手機(jī)和平板電腦的迅速普及,消費(fèi)電子已成為壓力傳感器的第二大應(yīng)用市場,據(jù)估計國內(nèi)每年需求量也達(dá)到數(shù)億只,但大多依賴進(jìn)口,隨著近些年 MEMS 壓力傳感器成本和功耗的降低,其在可穿戴設(shè)備、無人機(jī)和智能家居等領(lǐng)域需求迅速擴(kuò)大。

在醫(yī)療與工業(yè)市場,MEMS 壓力傳感器保持中等的增長速度,但有一例外是新型醫(yī)用智能吸入器(medical smart inhalers,介于醫(yī)療電子市場與消費(fèi)電子市場之間),為未來醫(yī)療消費(fèi)物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的發(fā)展鋪平了道路。航空電子與高端應(yīng)用雖然是小眾市場,但得益于動態(tài)飛行器(the dynamic aircraft) 與 MEMS 技術(shù)的大力發(fā)展,目前也顯示出較快的增長速度。

在不同的應(yīng)用行業(yè),MEMS 壓力傳感器的競爭態(tài)勢不盡相同,市場份額最大的汽車電子與消費(fèi)電子應(yīng)用中,主要廠商都是大型集團(tuán)。

汽車電子市場常采用垂直整合方式提高效益,而消費(fèi)電子市場由于太小且分散的特點,沒必要采取這種方式,競爭態(tài)勢基本分為三個層次:

博世(Bosch)是最具重量級的領(lǐng)導(dǎo)者,集聚了這兩個應(yīng)用市場的所有產(chǎn)品的產(chǎn)量,形成了規(guī)模經(jīng)濟(jì)效應(yīng),降低了成本,這是其最大的競爭優(yōu)勢。

其他大型廠商如英飛凌(Infineon)、森薩塔(Sensata)、電裝(Denso)、邁來芯(Melexis)等只專注在汽車電子市場,而意法半導(dǎo)體(ST Microelectronic)與阿爾卑斯電氣(ALPS)只專注在消費(fèi)電子市場。泰科電子(TE Connectivity)與恩智浦(NXP)同時參與這兩大應(yīng)用的競爭。

在工業(yè)、醫(yī)療、航空電子與高端應(yīng)用市場,主要競爭對手比較相似,大多數(shù)廠商都會采取進(jìn)入多個細(xì)分市場和加入增值模塊來擴(kuò)大自己的業(yè)務(wù)及提升競爭力。也有少數(shù)公司只專注在航空電子及高端市場領(lǐng)域,如美國的庫力特(Kulite)。

2)其他技術(shù)

從產(chǎn)品用量來看,陶瓷壓力傳感器是除 MEMS 壓力傳感器外用量最大的種類,耐腐蝕的優(yōu)點使其廣泛應(yīng)用于汽車電子和工業(yè)電子,如汽車的發(fā)動機(jī)系統(tǒng)、暖通空調(diào)系統(tǒng)、柴油尿素包,工業(yè)制冷系統(tǒng)等,國內(nèi)年需求量約為數(shù)千萬只。

濺射薄膜壓力傳感器和微熔壓力傳感器環(huán)境適應(yīng)性較強(qiáng),主要用于汽車電子和工業(yè)電子。

傳統(tǒng)應(yīng)變片技術(shù)制作的壓力傳感器逐漸被 MEMS 技術(shù)和濺射薄膜技術(shù)所取代,但由于具備形狀可變靈活應(yīng)用的特點,目前在計量等一些有特殊要求的領(lǐng)域仍在使用。

藍(lán)寶石壓力傳感器、壓電壓力傳感器、光纖壓力傳感器和諧振壓力傳感器具備耐高溫、耐惡劣環(huán)境等強(qiáng)環(huán)境適應(yīng)性,一般多用于國防軍工、航空航天、石油勘探等領(lǐng)域,國內(nèi)主要廠商集中在相關(guān)高校與科研院所。

2、慣性傳感器

慣性傳感器是一種運(yùn)動傳感器,主要用于測量物體在慣性空間中的運(yùn)動參數(shù)。慣性傳感器依據(jù)敏感量的不同分為加速度計和陀螺兩大類。

慣性傳感器市場最早由國防、航空航天等慣性導(dǎo)航應(yīng)用推廣而來,按照測量精度可分為高端應(yīng)用市場和低端應(yīng)用市場。

低端應(yīng)用市場產(chǎn)品特點是價格較低、用量較大、性能要求較低,主要包括消費(fèi)電子、汽車電子、工業(yè)自動化等;高端應(yīng)用市場產(chǎn)品特點是精度要求較高、價格較貴、用量較小等,主要包括,國防和商業(yè)航天等軍用級和宇航級電子產(chǎn)品,如導(dǎo)彈、火箭導(dǎo)航,飛機(jī)、導(dǎo)彈飛行或姿態(tài)控制,潛水艇、軍艦等姿態(tài)控制等等。

目前高端慣性系統(tǒng)市場迎來許多新機(jī)遇,包括機(jī)器人、工業(yè)自動化、自動/無人駕駛汽車、船舶、飛機(jī)和無人機(jī)、結(jié)構(gòu)監(jiān)測、可重復(fù)使用航天運(yùn)載器和微型衛(wèi)星等。預(yù)計這些應(yīng)用將使得高端慣性市場保持長期增長。

1)加速度計

加速度計按照自由度分為單軸、雙軸、三軸加速度計,其中三軸加速度計市場占有率最高,加速度計和陀螺儀、磁力計多組合應(yīng)用(加速度計與陀螺儀組合構(gòu)成慣性測量單元,加速度計、陀螺儀和磁力計組合構(gòu)成電子羅盤),以達(dá)到集成化、多功能的運(yùn)動檢測。

加速度計的主要類型有 MEMS 加速度計、石英撓性加速度計、壓電加速度計和光纖加速度計。

MEMS 加速度計是智能加速度計的主要實現(xiàn)形式,占據(jù)了最大的市場份額,其中消費(fèi)電子是最大的應(yīng)用市場,預(yù)估年用量在數(shù)十億只左右,廣泛用于智能手機(jī)、可穿戴設(shè)備的方向顯示、運(yùn)動檢測,AR/VR設(shè)備的人體運(yùn)動軌跡捕捉,無人機(jī)的導(dǎo)航與運(yùn)動檢測等。

MEMS 加速度計在汽車的慣導(dǎo)系統(tǒng)、動力系統(tǒng)、防抱死剎車系統(tǒng)中也有著大量需求,年需求量億只以上。尤其在自動駕駛解決方案中,需要將慣性測量單元(由加速度計和陀螺儀組成)和 GPS 等絕對定位系統(tǒng)融合使用,一方面可驗證 GPS 定位結(jié)果的自洽性,另一方面可在 GPS 信號消失的區(qū)域繼續(xù)提供持續(xù)若干秒的亞米級定位精度,為自動駕駛汽車爭取寶貴的異常處理時間,是自動駕駛系統(tǒng)在定位領(lǐng)域的最后一道防線。

壓電式加速度計具有測量范圍廣、耐高溫、高頻響等特點,主要用于工業(yè)過程測量控制、振動試驗設(shè)備監(jiān)測、航空航天發(fā)動機(jī)監(jiān)測等。

光纖加速度計的主要特點是一根光纖可布設(shè)多點,成本大大降低,目前國內(nèi)技術(shù)已能達(dá)到國際先進(jìn)水平。

石英撓性加速度計能達(dá)到較高的精度和穩(wěn)定性,主要應(yīng)用在國防軍工、航天航空的慣導(dǎo)制導(dǎo)等系統(tǒng)。

2)陀螺儀

陀螺按照工作原理和結(jié)構(gòu)特點分為 MEMS 陀螺、光纖陀螺、激光陀螺、壓電陀螺、半球諧振陀螺等。

同加速計類似,MEMS 陀螺是智能化陀螺儀的主要實現(xiàn)方式,它的精度雖然不如光纖陀螺、激光陀螺等高端產(chǎn)品,但其體積小、功耗低、易于數(shù)字化和智能化,特別是成本低,易于批量生產(chǎn),非常適合手機(jī)、汽車、醫(yī)療器材等需要大規(guī)模生產(chǎn)的設(shè)備。

光纖陀螺、激光陀螺、壓電陀螺、半球諧振陀螺等高精度陀螺用量小、成本高,主要用于國防軍工、航空航天等高端慣性領(lǐng)域,幾種技術(shù)間競爭較為激烈。陀螺儀能提供準(zhǔn)確的方位、水平、位置、加速度等信號,以便駕駛員或自動導(dǎo)航儀控制飛機(jī)、艦船等航行體按一定的航線飛行,而在導(dǎo)彈、衛(wèi)星運(yùn)載器或空間探測火箭等航行體的制導(dǎo)中,則可直接利用這些信號完成航行體姿態(tài)控制和軌道控制。

傳感器中陀螺儀屬于技術(shù)門檻較高的產(chǎn)品,工藝結(jié)構(gòu)復(fù)雜,投資成本高,產(chǎn)品研發(fā)工作主要集中在高校和科研院所,國內(nèi)具有自主設(shè)計能力并實現(xiàn)量產(chǎn)的企業(yè)較少。

3、磁傳感器 

磁傳感器是通過感測磁場強(qiáng)度、磁場分布、磁場擾動等來精確測量電流、位置、方向、角度等物理參數(shù),廣泛用于消費(fèi)電子、現(xiàn)代工農(nóng)業(yè)、汽車和高端信息化裝備中。

磁傳感器主要實現(xiàn)技術(shù)包括霍爾技術(shù)(Hall Technology)、各項異性磁阻技術(shù)(AMR Technology)、巨磁阻技術(shù)(GMR Technology)、隧道結(jié)磁阻技術(shù)(TMR Technology)等。

目前市場上主要的磁傳感器芯片是基于霍爾效應(yīng)(全球市場占有率 70%)開發(fā)的。XMR 技術(shù)最大的優(yōu)勢是高靈敏度及精準(zhǔn)度。

傳統(tǒng)基于霍爾技術(shù)的磁傳感器市場的大型廠商,如AKM 、Allegro、Melexis、TDK、Diodes、Honeywell 等都在將 XMR 技術(shù)用于各自的產(chǎn)品中, 并推動 XMR 發(fā)展,市場占有率有望從 2016 年的 27%發(fā)展到 2022 年的31%。霍爾技術(shù)目前仍然非常有效,由于成本較低,仍然是市場上大多數(shù)應(yīng)用的優(yōu)先選擇。

四代磁傳感器的技術(shù)發(fā)展歷程與基本原理

磁傳感器的技術(shù)發(fā)展歷程與基本原理.png

▲磁傳感器技術(shù)發(fā)展歷程與基本原理

總體上看,磁傳感器市場預(yù)計將從 2021 年的 2.6B 美元增長到 2027 年的 4.5B 美元,復(fù)合年增長率為 9% 。(注:此處數(shù)據(jù)為最新替換,數(shù)據(jù)來自Yole)

汽車市場是磁傳感器最大的應(yīng)用市場,傳統(tǒng)的汽油汽車上磁傳感器的用量約為 20~30個,由于混合動力汽車更高的電流控制需求,磁傳感的用量將達(dá)到 35個以上。

磁傳感器可用于位置和速度傳感、開關(guān)控制、電流傳感等,未來隨著自動駕駛汽車可靠性要求的提高,動力總成系統(tǒng)和輔助無刷電機(jī)系統(tǒng)對磁傳感器的可靠性提出了更高的需求。

磁傳感器在工業(yè)控制、交通、智能家居、消費(fèi)電子等領(lǐng)域的應(yīng)用較汽車領(lǐng)域更為分散,且單價更高。

隨著智能手機(jī)市場趨于飽和,用于電子羅盤的磁傳感器近年的銷量也趨于穩(wěn)定,主要應(yīng)用于手機(jī)中的電子地圖與 GPS。但在可穿戴設(shè)備、無人機(jī)、機(jī)器人等新興應(yīng)用領(lǐng)域有著較高的市場潛力。

MEMS 磁傳感器市場分布及預(yù)測.png

▲MEMS 磁傳感器市場分布及預(yù)測

國內(nèi)用于消費(fèi)類電子產(chǎn)品的 AMR 磁傳感器已有美新半導(dǎo)體有限公司實現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn),而用于現(xiàn)代工農(nóng)業(yè)、汽車和高端信息化裝備的 AMR 磁傳感器主要依靠進(jìn)口美國霍尼韋爾、日本村田、德國Sensitec 公司的產(chǎn)品。

國內(nèi)暫無 GMR 磁傳感器制造商,用于高端信息化裝備的 GMR 磁傳感器主要依靠進(jìn)口美國 NVE、德國 Sensitec 公司的產(chǎn)品。

TMR 磁傳感技術(shù)已被國外硬盤巨頭希捷國際、西部數(shù)據(jù)和TDK 三家公司廣泛應(yīng)用于硬盤磁頭,無論是實驗室研發(fā)還是規(guī)模化生產(chǎn)其技術(shù)成熟性已得到了較為可靠的論證。江蘇多維科技有限公司建有完整的 TMR 磁傳感器芯片研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化平臺,能實現(xiàn)隧道結(jié)材料體系和 TMR 芯片的完全自主設(shè)計及規(guī)?;a(chǎn)。

4、麥克風(fēng)

隨著 Alexa、Cortana、Siri 等智能語音控制功能的出現(xiàn),麥克風(fēng)在智能終端的需求迅速擴(kuò)大,核心技術(shù)發(fā)展方向包括語音識別、噪聲消除、身份識別等。

麥克風(fēng)實現(xiàn)技術(shù)主要分為兩類,MEMS 麥克風(fēng)和傳統(tǒng)的駐極體麥克風(fēng)(ECM)。MEMS 麥克風(fēng)憑借微型化、低功耗等特性更好滿足智能手機(jī)、智能音箱、智能耳機(jī)、機(jī)器人等應(yīng)用的語音交互需求。

相比之下,ECM 麥克風(fēng)盡管具有高信噪比、一致性好等特點,但成本優(yōu)勢漸弱,在語音交互普及的浪潮中被替代的趨勢越來越明顯。

2016 年,MEMS 麥克風(fēng)市場接近 68 億元人民幣($1B),出貨量年復(fù)合增長率(CAGR)為 11.3%。駐極體麥克風(fēng)市場 48 億人民幣($700M),出貨量年復(fù)合增長率(CAGR)為-2.6%。

麥克風(fēng)的市場規(guī)模及預(yù)測:

麥克風(fēng)的市場規(guī)模及預(yù)測.png

▲麥克風(fēng)市場規(guī)模及預(yù)測

根據(jù) Yole 的數(shù)據(jù),2018-2026 年全球 MEMS 聲學(xué)傳感器市場規(guī)模從 11.53 億美元增長至 18.71 億美元,年均復(fù)合增長率為 6.24%;出貨量 從 52.98 億顆增長至 111.15 億顆,年均復(fù)合增長率為 9.70%,均呈現(xiàn)穩(wěn)步上升的態(tài)勢。

2018-2026 年全球 MEMS 聲學(xué)傳感器市場規(guī)模.png

▲圖表來自歌爾微招股書

全球 MEMS 麥克風(fēng)的主要供應(yīng)商有樓氏電子(Knowles)、 歌爾股份(Goertek)和瑞生科技(AAC)。三家約占全球 MEMS 麥克風(fēng)市場的 70%以上。

在全部智能傳感器種類中,我國 MEMS 麥克風(fēng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展水平相對較高。根據(jù) Yole 數(shù)據(jù),全球排名前 30 的傳感器廠商中,中國國內(nèi)僅有歌爾微電子(Goermicro,原歌爾股份分拆的MEMS業(yè)務(wù)子公司,排名第8)、瑞聲科技(AAC,排名21)、高德紅外(Guide IR,排名29)進(jìn)入榜單。歌爾微已超過樓氏電子成為全球最大MEMS麥克風(fēng)企業(yè)。



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